10月19日上午,西安电子科技大学廖敏教授受邀来威廉希尔作学术交流,并作了题为《氧化铪基铁电薄膜及其存储器》的学术报告,威廉希尔师生近100余人聆听了报告。报告会由经理寇发荣主持。

廖敏教授从三个方面阐述了氧化铪基铁电薄膜及其存储器。首先介绍了氧化铪基铁电薄膜在大规模集成电路工艺线兼容、可微型化潜力大的优点;其次从如何稳定氧化铪铁电亚稳相是实现氧化铪基铁电薄膜可控制备的前提,而唤醒效应、疲劳失效、性能不均一是阻碍氧化铪基铁电薄膜在存储器中应用的难题;最后廖敏教授回顾了课题组在该领域基础研究方面的研究历程,展示了课题组在氧化铪亚稳相、铁电薄膜、单元器件、存储器芯片全链条研制方面的研究进展。会后,廖敏教授和参会师生进行了深入交流。

个人简介:廖敏,西安电子科技大学华山学者特聘教授,博士生导师。2006年和2009年分别本科和硕士毕业于湘潭大学微电子学专业和微电子学与固体电子学专业。2012年在日本东京工业大学获得物理电子系统工程博士学位。先后主持JKW创新特区、ZFB共用技术、国家自然科学基金、省重点研发计划等项目。在材料与微电子领域的权威期刊Adv. Mater.、Adv. Funct. Mater.等发表论文60余篇;以第一发明人授权国内外发明专利14项。入选湖南省海外高层次人才、“湖湘青年英才”等人才计划,并获得国家基金委“优青”项目支持。